Generador de oxígeno de PSA para semiconductor

Name: Generador de oxígeno PSA personalizado de China para la fábrica de proveedores de semiconductores - Servicio al por mayor
Brand: NEWTEK
SKU: 265700463

En el contexto de los requisitos extremadamente altos de la fabricación de semiconductores para la pureza y la estabilidad del gas, el generador de oxígeno de PSA utiliza la tecnología de adsorción de swing de presión (PSA), utiliza el aire como materia prima y aprovecha la diferencia en la capacidad de adsorción de gas del adsorbente bajo diferentes presiones para un oxígeno de alto intento eficiente. El generador de oxígeno puede generar oxígeno con pureza precisa y flujo estable, cumpliendo con los requisitos estrictos para el oxígeno en todos los aspectos de la fabricación de semiconductores desde el procesamiento de la oblea hasta el envasado de chips. El equipo tiene un alto grado de automatización, puede operar de manera estable durante mucho tiempo, reducir los costos de operación y mantenimiento, y puede ajustar de manera flexible varios parámetros para crear una solución confiable, eficiente y económica de suministro de oxígeno para los fabricantes de semiconductores, ayudando a la industria de los semiconductores a mejorar la eficiencia de producción y la calidad del producto.

Envíeconsulta

Descripción

Parámetros técnicos

¿Por qué la industria de los semiconductores necesita generadores de oxígeno de PSA?

Suministro de gas de alta pureza:La fabricación de semiconductores tiene requisitos estrictos sobre la pureza de los gases, y el oxígeno de alta pureza es indispensable para la litografía, la limpieza y otros enlaces. Con la ayuda de la tecnología de adsorción de swing de presión, el generador de oxígeno de PSA produce oxígeno con una pureza del 95%± 3%, lo que cumple con los requisitos de formación de la capa de óxido y la limpieza de obleas, y evita el riesgo de contaminación por impureza del suministro tradicional de oxígeno de cilindro de gas tradicional.
Asegurar la estabilidad del proceso:Las líneas de producción de semiconductores requieren un suministro de gas continuo y estable. El generador de oxígeno de PSA utiliza torres de adsorción doble para funcionar alternativamente, y a través del control inteligente PLC, puede lograr 24- hora de suministro de oxígeno ininterrumpido, evitar las interrupciones de producción causadas por el reemplazo de botellas manual y adaptarse a los procesos sensibles a la presión del aire, como la deposición de películas delgadas y el etapa.
Reducir los costos y optimizar el espacio:En comparación con los tanques de almacenamiento de oxígeno líquido y los cilindros de gas de alta presión, los generadores de oxígeno de PSA producen oxígeno en el sitio, reduciendo en gran medida los costos de transporte y almacenamiento. Tiene una pequeña huella y admite la expansión modular, que satisface las necesidades de maximizar la utilización del espacio en talleres limpios de fábricas de semiconductores. El costo de uso a largo plazo es aproximadamente un 20% más bajo que el método tradicional.
Adaptarse a procesos especiales:En procesos avanzados, algunos procesos especiales requieren un control preciso de la concentración de oxígeno. El generador de oxígeno de PSA puede ajustar de manera flexible la pureza de salida de oxígeno (95%-99. 9%) ajustando la presión de adsorción y la relación tamiz molecular para cumplir con los requisitos especiales del proceso de la fabricación de memoria flash NAND 3D.
Amable ambientalmente y fácil de mantener:La tecnología PSA no requiere reactivos químicos, y el proceso de producción de oxígeno no emite sustancias nocivas, lo que cumple con los estándares de protección del medio ambiente de la industria de semiconductores. El equipo utiliza acero inoxidable de grado alimenticio y tamices moleculares de autolimpieza, con un ciclo de mantenimiento de hasta 3-5 años, y es adecuado para entornos de fabricación de obleas de alta limpieza.

Consulta gratuita

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

categoría	Detalles del parámetro
Pureza de oxígeno	93% -99. 5% (el sistema de filtración ULPA se puede personalizar, contenido de impureza menor o igual a 1ppb)
Presión de salida	0. 5-1. 5MPA (ajustable, adaptado al estándar de entrada de aire del equipo de semiconductores)
Rango de flujo	10-5000 nm³/h (admite la expansión paralela de múltiples unidades)
Punto de rocío	Menos o igual a -70 grado (para evitar que el vapor de agua contamine el entorno del proceso)
Eficiencia energética	Menor o igual a 0. 38kWh/nm³ (accionamiento de frecuencia variable de alta eficiencia, ahorro de energía más del 30%)
Nivel de ruido	Menos de o igual a 65dB (baja estructura de vibración + carcasa insonorizada, en línea con los estándares de la sala limpia Clase 1000)

Las ventajas centrales del generador de oxígeno de PSA

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Garantía de pureza ultra alta
El lecho de tamiz molecular de doble capa y la unidad de oxidación catalítica se utilizan para eliminar profundamente las impurezas como los hidrocarburos y el CO₂, y la pureza de oxígeno alcanza más del 99.5%, cumpliendo con el estándar semi F20. Analizador en línea en tiempo real incorporado, sincronización de datos al sistema SCADA de fábrica para garantizar la estabilidad del proceso.

Control inteligente y diseño redundante
Sistema integrado de control PLC+HMI, admite monitoreo remoto, autodiagnóstico de fallas y conmutación de emergencia (adsorción redundante de doble torre). Tecnología de compensación de presión automática para hacer frente a la demanda instantánea de alto flujo de equipos de semiconductores.

Solución baja en carbono
La tecnología sinérgica VPSA (Adsorción sinérgica de presión de vacío) reduce el consumo de energía, ahorrando 15% -20% de energía en comparación con el módulo tradicional de recuperación de calor de los residuos opcionales para reducir la carga de calor del taller.

Compatibilidad de la sala limpia
Todos los canales de flujo de acero inoxidable + recubrimiento de nano para evitar la contaminación de iones de metal; Diseño de sellado de fugas cero, ISO pasada 8573-1 class 0 certificación.

Tipos de plantas de oxígeno de PSA

Equipo modular

Equipo de torre gemela

Equipo contenedor

				Selección del generador de oxígeno de la serie NTK95 PSA
No.	Modelos	Capacidad (NM3/HR)	Pureza	Consumo de energía de 1Nm3 oxígeno producido (KW/H)	Número de botellas FLED en 12 horas (PC)	Operador necesario
1	Ntk 95-5 P	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	Ntk 95-10 P	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	Ntk 95-15 P	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	Ntk 95-20 P	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	Ntk 95-25 P	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	Ntk 95-30 P	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	Ntk 95-40 P	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	Ntk 95-50 P	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	Ntk 95-60 P	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	Ntk 95-80 P	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	Ntk 95-100 P	100	95%+-1%	1.83	200	2

Preguntas frecuentes

1. ¿Qué tan alta puede ser la pureza del oxígeno y cumple con los requisitos de la fabricación de semiconductores?
Nuestro generador de oxígeno PSA para semiconductores puede producir rutinariamente oxígeno con una pureza del 95%± 3%. Para algunos procesos que requieren una pureza de oxígeno extremadamente alta, al ajustar los parámetros del equipo, la pureza de salida de oxígeno se puede controlar de manera flexible dentro del rango de 95% - 99. 9%, cumpliendo completamente los requisitos estrictos para la pureza del gas en enlaces centrales como la litografía semiconductora, la limpieza y la oxidación.

2. ¿Qué tan estable es el equipo, y puede garantizar la operación continua de la línea de producción de semiconductores?
El equipo adopta una torre de adsorción doble que alterna el modo de trabajo, combinado con un sistema de control inteligente PLC, para lograr 24- hora de suministro de oxígeno ininterrumpido y estable. Este modo de operación automatizado evita las interrupciones de suministro de gas causadas por el reemplazo manual de botellas, proporciona un suministro de gas confiable y estable para procesos como la deposición de películas delgadas y el grabado que son sensibles a la presión del aire, y reduce efectivamente el riesgo de interrupciones de producción causadas por problemas de suministro de gas.

3. Comparado con los métodos tradicionales de suministro de oxígeno, ¿cuál es el costo de uso?
En comparación con los tanques de almacenamiento de oxígeno líquido o los cilindros de gas de alta presión, nuestro generador de oxígeno PSA adopta el modo de producción de oxígeno en el sitio, lo que ahorra en gran medida los costos de transporte y almacenamiento de oxígeno. El equipo ocupa un área pequeña y se puede ampliar de manera modular, reduciendo los costos de alquiler del sitio. A largo plazo, el costo es aproximadamente un 20% más bajo que el método tradicional de suministro de oxígeno, lo que ahorra significativamente los costos operativos.

4. ¿El mantenimiento del equipo es complicado? ¿Cuánto tiempo dura el ciclo de mantenimiento?
El equipo es fácil de mantener, utilizando acero inoxidable de grado alimenticio y tamices moleculares de autolimpieza, lo que reduce en gran medida la carga de trabajo de mantenimiento. En circunstancias normales, el ciclo de mantenimiento es tan largo como 3-5 años, y estamos equipados con un equipo de venta posterior profesional para proporcionar soporte técnico en cualquier momento para ayudarlo a resolver problemas durante la operación del equipo.

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